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薄膜生长

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PLD

脉冲激光沉积技术(Pulse Laser Deposition,简称PLD)可以生长具有透明导电、铁电、超导、光电水解、电催化等功能的复杂氧化物薄膜材料。通过对掺杂、氧缺陷、晶面取向、晶格应力、表面修饰的精确控制,从电子结构出发阐明原子、分子结构与其光、电、磁、材料性能之间的内在关联和规律。









生长原理示意图



研究体系

材料:氧化物、氮化物、金属、量子点、纳米晶、二维材料等

器件:PN异质结、UV 探测器、场效应晶体管、太阳能电池等

 

服务领域

太阳能转化: 太阳能电池、光解水等

光催化:光催化有机合成、光降解污染物等

光电器件: 透明电子器件、光传感器、发光二极管等

基础物理研究:铁电、多铁、超导、巨磁阻等


MBE

    脉冲激光沉积技术(Pulse Laser Deposition,简称PLD)可以生长具有透明导电、铁电、超导、光电水解、电催化等功能的复杂氧化物薄膜材料。通过对掺杂、氧缺陷、晶面取向、晶格应力、表面修饰的精确控制,从电子结构出发阐明原子、分子结构与其光、电、磁、材料性能之间的内在关联和规律。

    MBE能够在原子尺度上生长诸如金属、半导体、二维材料、磁性、超导等单晶薄膜。所生长的薄膜广泛应用于光电子器件,磁存储,太阳能电池,电催化等重要前沿研究领域。这些单晶薄膜在微电子、光电子、信息存储、超导、光电催化等领域具有十分广泛的应用。

生长原理示意图

 

 

 



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